徐州博康2022光刻胶业务表现亮眼
3月20日晚间，华懋科技发布2022年年度报告显示，公司去年在汽车被动安全、光刻材料等业务领域稳步前进。报告期内实现营业收入16.37亿元，同比增长35.75%，营业收入继续创历史新高；实现归属于上市公司股东的净利润1.98亿元，同比增长12.68%。
在本报告中，华懋科技也详细披露了公司参股企业——光刻胶厂商徐州博康的去年整体进展。
徐州博康：多款高端光刻胶已获国内12寸晶圆厂订单
在光刻材料业务中，华懋科技表示：公司重要参股公司徐州博康作为国内领先的IC光刻胶与光刻材料公司，2022年以来在光刻胶相关的技术与工艺环节突破不断，也得到了下游客户的认可，有多款高端光刻胶产品分别获得了国内12寸晶圆厂的相关订单，包括ArF-immersion产品及ArF-dry，KrF，I-line等。其中，ArF-immersion产品已经适用于28-45nm制程。具体分品类来看——
（1）ArF光刻胶有26款产品，其中ArF-immersion15款，ArF-dry 11款，可应用于14-90nm制程节点；有9款ArF-immersion及ArF-dry光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产，品种类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺以及LOGIC，3D NAND，DRAM等应用领域。2022年以来形成销售的ArF光刻胶有4款。
（2）KrF光刻胶有30款产品，其中，高分辨的KrF光刻胶，最小分辨率可达120nm CD，产品可应用于14nm-180nm制程中；KrF中厚胶，主要为L/S，针对8-12寸抗刻蚀层；KrF厚胶，主要针对高深宽比及高台阶覆盖的应用；KrF负胶，主要针对IC端和器件类特殊工艺应用；有20余款KrF光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产，产品种类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺以及集成电路、分立器件、传感器等应用领域。2022年以来形成销售的KrF光刻胶有15款。
（3）I线光刻胶有15款产品，主要为化学放大型光刻胶，相对于传统光刻胶，化学放大型光刻胶具有更高的分辨率、对比度和深宽比。有10多款I线光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产，产品种类涵盖高能注入、抗刻蚀等关键层工艺以及PAD、lift-off等应用领域。2022年以来形成销售的I线光刻胶有12款。
（4）电子束光刻胶在销售的有3大种类，包括 PMMA 体系、PHS、HSQ等，现已为数十家企业和高校提供标准化、定制化的电子束光刻胶产品。
作为国内少有能打通光刻胶上游材料的全产业链公司，徐州博康的聚合与提纯工艺也是其核心竞争力之一。2022年以来，旗下的光刻材料体系不断扩充，产品性能不断优化：
（1）光刻胶单体已经研发近70款，2022 年以来新开发20款单体，其中包含13款ArF光刻胶单体，2款KrF光刻胶单体。
（2）光刻胶树脂已经研发50多款，2022年以来新开发18款树脂，包括7款ArF树脂，6款高端KrF树脂。
（3）光敏剂已经研发超过150款，2022年以来新开发50款光敏剂，其中12款针对ArF光刻胶开发，10款针对高端KrF光刻胶开发。
此外，为推进在光刻材料领域的产业布局，2021年10月华懋科技通过东阳凯阳与徐州博康、东阳金投共同发起设立合资公司东阳华芯电子材料有限公司，东阳凯阳持股比例为 51%。2022年7月，公司公告了东阳华芯建设“年产8000吨光刻材料新建项目”的事项，项目总投资金额20亿元，规划年产8000吨光刻材料，主要包括ArF光刻胶系列（包含单体和树脂合成）、KrF光刻胶系列（包含单体和树脂合成）、半导体厚膜封装胶、半导体用光敏性聚酰亚胺（PSPI）、PCB油墨、三羟甲基丙烷、三丙烯酸酯等配套试剂。
截止华懋科技2022年报披露日，该项目已取得相关地块的土地使用权，已完成登记备案及前期审批程序，目前建设工作正在有序推进中。
建设自主可控产业链，加速高端光刻胶产业化
在刚刚结束的2023年全国两会中，作为全国人大代表的徐州博康信息化学品有限公司董事长傅志伟曾与会前表示，将提出关于在半导体领域加速国产化替代步伐，建设自主可控产业链的建议。
“我们希望能够出台相应的政策，推动国内产业链更加细化，对产业进行精准扶持。”傅志伟称，作为集成电路领域工作的参与者，当前中国半导体产业跟国外相比存在着一定距离。随着半导体行业国产化替代要求越来越高，我们如何加大国产化力度，使中国半导体产业整体水平提升，奋力打造半导体产业“芯”高地，是当下要考虑的问题。
来源：徐州博康
在国内光刻胶这条赛道上，徐州博康已经实现了从单体到树脂、光酸、配套溶剂到光刻胶产品的全产业链自主生产能力。
在去年年末的势银采访中，徐州博康就曾表示：“安全供应，定制化开发，产品快速迭代是我们的优势之一，目前，徐州博康是国内唯一一家从原材料到成品光刻胶供应商。”
从产品本身而言，品类丰富也是徐州博康竞争优势之一，公司光刻胶产品涵盖ArF、KrF、i-line、封装、电子束等。
同时，技术储备足、产品开发速度快/迭代快同样成为了徐州博康在市场竞争中“脱颖而出”的原因之一，目前其光刻胶树脂已开发50多种，包括聚对羟基苯乙烯类树脂，聚甲基丙烯酸酯类树脂，广泛覆盖于各类光刻胶；并自主开发70-80种光刻胶使用的光致产酸剂，可快速选型开发产品。此外，全产业链布局保证了徐州博康原料端安全：原材料都为自主生产，成本可控。
来源：徐州博康
当前，若想推动光刻胶整体产业化进程，国内产业链需逐步攻克技术、配方、设备、人才、下游认证、品质管控等等壁垒和难题，这同样也是徐州博康的企业使命之一，公司将进一步加大电子化学品特别是光刻胶领域的研发、生产投入。
徐州博康透露：公司计划在未来5年内，以邳州工厂为建设标准，在不同省份的化工园区，设立3-5家新工厂，以满足国内半导体客户发展需求，最终实现行业龙头地位，成为国内精细化工及光刻胶的行业标杆。
在2022年势银光刻胶产业大会中，徐州博康信息化学品有限公司 博康光刻胶事业部总经理 杜光宇 受邀发表了题为《高端光刻胶自主发展之路》的演讲。
杜光宇在会上表示，高端半导体光刻胶自主发展是必然趋势。自主发展包含两大策略，第一为全品类化，通过纵向开发（低端-高端）和横向开发（各类光刻胶同时推进开发）手段；第二为全产业链布局，做到真正“自主化、国产化”。
来源：势银膜链
